Yeni güçlü kuru çalışma pompaları:
ADH serisi, güneş enerjisi için özel olarak tasarlanmıştır
yarı iletken ve LED pazarlarının zorlu süreçleri için
geliştirilmiş,
600-4500 m3/h emiş kapasitesi ile.
Yarı iletkenler: Yüksek H2 pompalama hızı
ADH serisinin performansı, prosese aşağıdaki avantajları
getirir:
-ADL proses performansı: hafif gazların yüksek pompalama
verimliliği
Proses adımları arasında daha hızlı hazne boşaltma sağlar
- Epitaksi ve EUV: yüksek pompalama hızı ve yüksek akış
hızı
Tolerans en zorlu proses spesifikasyonlarını karşılar
Adixen AD30K kuru pompa, yüksek vakum, AD 30 KL
Üretici firma: Alcatel Adixen
Türü: AD30K. H
Üretim Yılı: 2008
Adixen AD100K. H
Üretici firma: Alcatel Adixen
Türü: AD100K. H
Üretim Yılı: 2008
Vakum pompası:
Üretici firma: AERZEN
Türü: GM 2000 CM-C
Hız: 6000 rpm
Gerilim: 200-460 V
Frekans (mineral yağ/PFPE yağı): 100 c/s
Maksimum emiş kapasitesi: 4035 m3/h
Maksimum hız: 5920 rpm
Motor gücü S 1 / S 6: 9/5,6 kW
Üretim Yılı: 2008
Ağırlık: 345 kg
Kuru pompa:
Üretici firma: Adixen
Türü: BF ADP122
Üretim Yılı: 2008
Güç 1,5 kW
Maksimum emiş kapasitesi: 95 m3/h
Maksimum sürekli giriş basıncı: 50 mbar
Maksimum egzoz basıncı: 1200 mbar
Soğutma suyu: 60 l/h
Hız (pompa): 3000-3600 rpm
Pompanın çalışma sıcaklığı: 5 C ila 40 C
Giriş flanşı: DN 50 ISO-KF
Egzoz flanşı: DN 40